靶材綁定方式及流程

靶材和背板之間綁定的完整性和結合率可以決定靶材的性能和成本，所以對于靶材綁定的要求比較高，那么應該怎么綁定呢？下面四豐小編就來為大家介紹一下靶材綁定方式及流程吧！
　　

　　一、靶材的主要綁定方式

　　1、膠粘劑綁定

　　
　　銀膠綁定是成本比較低的技術，方法是用專門的導熱和導電環氧樹脂把靶材綁定到背板上，該技術需要將靶材和背板的表面進行處理，綁定的靶材具有低殘余應力并且易于返工。其切點是具有相對高的熱阻，這就會限制濺射靶材的使用功率密度和沉積速率。
　　

　　2、焊料綁定

　　
　　焊料綁定對比銀膠綁定具有低的熱阻，所以能以更高的沉積速率運行。一般常見的焊料填充材料是銦，它具有高導熱性、且相對較低的熔點和彈性模量，可以降低綁定后的殘余應力。其低熔點還簡化了綁定的返工并允許重復使用背板。綁定過程可以在空氣中進行，降低了綁定成本。

　　

　　3、高溫焊接

　　
　　高溫焊接是釬焊和擴散焊結合的技術，需要在500℃以上進行操作，需要使用真空或可控氣氛烘箱。釬焊接合通過在接合處熔化釬焊合金以形成接合來實現接合。擴散焊接不使用填料，而是通過在高壓將背板加熱到與靶材發生相互擴散的溫度來實現粘合。這種結構有較低的熱阻，一般接近或者低于母合金的熱阻，且允許較高的功率密度。
　　

　　二、靶材綁定流程

　　
　　1、在綁定之前需要將靶材和背板表面進行預處理；
　　
　　2、將靶材和背板放置在釬焊臺上，并升溫到綁定溫度；
　　
　　3、將靶材和背板金屬化；
　　
　　4、粘接靶材和背板；
　　
　　5、調整粘接位置；
　　
　　6、降溫和后處理。
　　
　　經過以上介紹可知靶材綁定方式主要有膠粘劑綁定、焊料綁定、高溫焊接等，綁定流程為預處理-固定在釬焊臺-升溫-金屬化-粘接-調整-降溫等。洛陽高新四豐電子材料有限公司主要產品有鉬及鉬合金靶、銅靶、鈦靶及鎢靶等，產品質量優異，售后服務完善，歡迎大家隨時致電或留言進行咨詢。